Wprowadzenie produktu
Właściwości materialne
Parametr | Charakterystyczny | Metoda kontroli ASTM |
Typ/domieszek | P, Bor N, Fosfus N, Antimony N, Arsen | F42 |
Orientacje | <100>, <111>Odetnij orientacje na specyfikacje klienta | F26 |
Zawartość tlenu | 1019 PPMA Niestandardowe tolerancje na specyfikację klienta | F121 |
Zawartość węgla | < 0.6 ppmA | F123 |
Zakresy rezystywności, p, boru, fosfus-n, antymonia, arsen | 0.001 - 50 Ohm cm | F84 |
Właściwości mechaniczne
Parametr | Główny | Monitor/ test a | Test | Metoda ASTM |
Średnica | 300 ± 0,2 mm | 300 ± 0,2 mm | 300 ± 0,5 mm | F613 |
Grubość | 775 ± 20 µm (standard) | 775 ± 25 µm (standard) 450 ± 25 µm 625 ± 25 µm 1000 ± 25 µm 1300 ± 25 µm 1500 ± 25 µm | 775 ± 50 µm (standard) | F533 |
TTV | < 5 µm | < 10 µm | < 15 µm | F657 |
Ukłon | < 30 µm | < 30 µm | < 50 µm | F657 |
Zawinąć | < 30 µm | < 30 µm | < 50 µm | F657 |
Zaokrąglanie krawędzi | Semi-Std | F928 | ||
Cechowanie | Tylko pierwotne pół-flat, pół-Std Flats Jeida Flat, Notch | F26, F671 | ||
Jakość powierzchni
Parametr | Główny | Monitor/ test a | Test | Metoda ASTM |
Kryteria przednich | ||||
Stan powierzchni | Chemiczne mechaniczne polerowane | Chemiczne mechaniczne polerowane | Chemiczne mechaniczne polerowane | F523 |
Chropowatość powierzchni | < 2 A° | < 2 A° | < 2 A° | |
Contamination,Particles @ >0.3 µm | = 20 | = 20 | = 30 | F523 |
Mgiełka, doły, skórka pomarańczowa | Nic | Nic | Nic | F523 |
Saw o ślady, prążki | Nic | Nic | Nic | F523 |
Kryteria z tyłu | ||||
Pęknięcia, crowsfeet, trawki, plamy | Nic | Nic | Nic | F523 |
Stan powierzchni | Kaustic wytrawiony | F523 | ||
Opis produktu
Idealny do aplikacji mikroprzepływowych . do aplikacji mikroelektronicznych lub MEMS, skontaktuj się z nami w celu uzyskania szczegółowych specyfikacji .
Podczas gdy urządzenia półprzewodnikowe nadal kurczą się, coraz ważne jest, aby wafle miały wysoką jakość powierzchni zarówno po swojej przedniej, jak i tylnej stronie . Obecnie te wafle są najczęstsze w systemach mikroelektromechanicznych (MEMS), łączenie opłat, silikon na insulatorze (SOI) i zastosowaniach aplikacji i zastosowaniach z ciasną opłatą w opinii {1}. Przemysł półprzewodnikowy i jest zaangażowany w znalezienie długoterminowych rozwiązań dla wszystkich wymagań klientów .
Duże zapasy podwójnie polerowanych waflów z podwójnym bocznym poziomem we wszystkich średnicach opłat od 100 mm do 300 mm . Jeśli twoja specyfikacja nie jest dostępna w naszym zapasie, ustaliliśmy długoterminowe relacje z wieloma dostawcami, które są zdolne do niestandardowych plakaków produkcyjnych, aby pasowały do dowolnych unikalnych specyfikacji . podwójnych podwoziów, są dostępne w klejach i innych materiałach, które są używane w półprzewodnikach w półprzewodnikach w półprzewodnikach w półprzewodnikach w półprzewodnikach. przemysł .
Dostosowywany krojenie i polerowanie jest również zagłębione zgodnie z Twoimi wymaganiami . prosimy o kontakt .
Funkcje produktu
· 12 -calowy typ P/N, wypolerowany wafel krzemowy (25 szt.)
· Orientacja: 300
· Rezystywność: 0.1 - 40 Ohm • cm (może się różnić w zależności od partii)
· Grubość: 775+/-20 um
· Prime/Monitor/Test Grade
Popularne Tagi: 12 -calowy (300 mm) wafel, Chiny, dostawcy, producenci, fabryka, wyprodukowana w Chinach
